產(chǎn)品分類：
鈦、鋯、釩、鋁、鉿、過(guò)渡金屬、稀土元素構(gòu)成的合金靶，如Ti-Zr-V、Zr-V-Fe、Zr-Co-Re、Zr-Co-Ce等。
應(yīng)用說(shuō)明：
非制冷紅外探測(cè)器利用紅外輻射的熱效應(yīng)，由紅外吸收材料將紅外輻射能轉(zhuǎn)換成熱能，引起敏感元件溫度上升。敏感元件的某個(gè)物理參數(shù)隨之發(fā)生變化，再通過(guò)所設(shè)計(jì)的某種轉(zhuǎn)換機(jī)制轉(zhuǎn)換為電信號(hào)或可見(jiàn)光信號(hào)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的探測(cè)。作為感知紅外輻射與輸出信號(hào)間的橋梁，熱敏感元件則是紅外探測(cè)器的核心部件。
非制冷紅外探測(cè)器的熱敏元件主流材料以氧化釩（VOx）和非晶硅（α-Si）為主。氧化釩由于其更加突出的綜合性能而成為非制冷紅外焦平面探測(cè)器的主流技術(shù)路線，截至目前在全球市場(chǎng)上占據(jù)了超過(guò)80%的份額。讀出電路將每個(gè)微測(cè)輻射熱計(jì)的微小電阻變化以電信號(hào)的方式輸出。氧化釩薄膜采用反應(yīng)濺射沉積方法制備，需要對(duì)標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝PVD設(shè)備進(jìn)行改造，引入O2作為反應(yīng)氣體，實(shí)現(xiàn)薄膜氧化，而釩靶則作為鍍膜材料被廣泛應(yīng)用。
吸氣劑，是在真空或惰性環(huán)境中吸收H2、CO2等活性氣體的一種重要的功能材料，廣泛應(yīng)用于需要維持真空環(huán)境的高真空系統(tǒng)、微電子真空器件等。由于傳統(tǒng)吸氣劑激活溫度高，體積大，并且有毒，已經(jīng)不能滿足在特定領(lǐng)域的使用要求。非蒸散型吸氣劑薄膜具有激活溫度低、吸氣速率快、吸氣容量大，高效制備，附著性強(qiáng)，體積小，兼容性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)是微電子MEMS器件的最佳選擇。
常用的非蒸散型吸氣劑薄膜主要由鈦、鋯、釩、鋁、鉿、過(guò)渡金屬、稀土元素構(gòu)成的合金，如ti-zr-v、zr-v-fe、zr-co-re、zr-co-ce等。
