
型號:
MIBK/IPA 1:3
主要成分:
異丙醇 20-80% CAS 67-63-0
4-甲基-2-戊酮 20-80% CAS 108-10-1
原理與使用方法:
PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一種高分辨率、高對比度的正性電子束光刻膠,可用于電子束、深紫外光(220-250nm)和x射線進行曝光。圖形結構可通過聚合物主鏈斷裂,分子量下降,小分子聚合物溶于顯影液后而獲得。
PMMA的顯影液一般是MIBK和IPA的混合溶液。MIBK是溶劑和活性劑,控制PMMA的溶解和溶脹速率,而IPA是異丙醇(非溶劑)。PMMA常使用不同配比的MIBK:IPA混合溶液進行顯影(配比 1:1、1:2、1:3)。含有較多MIBK成分的混合溶液,顯影速率加快,提高顯影速率。然而含有較多IPA的混合溶液,顯影速率緩慢,但是適合高分辨線條的顯影。
儲存:
確保工作間有良好的通風、排氣裝置。
放入密封的貯藏器,儲存在陰涼、干燥的地方。
使用防爆炸的設備或裝置和防火花的工具。
遠離熱源和陽光直射。
遠離火源,禁止吸煙。
防靜電。
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