
名稱:
原子氣室
用途:
1、原子鐘
作為標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間基準(zhǔn),利用原子躍遷頻率的穩(wěn)定性實(shí)現(xiàn)高精度時(shí)間測(cè)量。
應(yīng)用:全球定位系統(tǒng)(GPS)、電信網(wǎng)絡(luò)同步等。
2、量子傳感器
利用原子氣室中的原子對(duì)外界磁場(chǎng)、溫度、加速度等物理量的高度敏感性進(jìn)行精確測(cè)量。
應(yīng)用:地球物理勘探、醫(yī)學(xué)成像、基礎(chǔ)物理研究。
3、原子陀螺儀
通過測(cè)量原子在旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)中的相位變化,實(shí)現(xiàn)高精度的角速度和方位角測(cè)量。
應(yīng)用:導(dǎo)航系統(tǒng)、慣性測(cè)量單元(IMU)。
核心工藝:
1、水氧控制
難點(diǎn):工藝過程從開始至結(jié)束,需要環(huán)境中水氧含量處于一個(gè)極低的水平,否則堿金屬將會(huì)氧化,陽極鍵合難以成功。
2、陽極鍵合
難點(diǎn):需要在保證鍵合強(qiáng)度的同時(shí)保證氣室密封性,保證堿金屬不會(huì)揮發(fā)。
3、金屬蒸發(fā)
堿金屬材料采用蒸發(fā)的形式注入通孔中,需要保證金屬材料精準(zhǔn)注入各個(gè)通孔中(鍵合面無沾污),而且每個(gè)通孔中堿金屬質(zhì)量一致。