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名稱：

氧化片陽極鍵合

用途：

客戶特殊工藝需求

核心工藝：

難點(diǎn)：

1、溫度控制：

陽極鍵合通常需要在高溫下進(jìn)行（400°C至500°C）。溫度控制不當(dāng)會導(dǎo)致基片變形、熱應(yīng)力增加，甚至破壞基片的微結(jié)構(gòu)。

2、電壓控制：

鍵合過程中需要施加高電壓（通常在幾百伏到幾千伏之間）。電壓不穩(wěn)定或過高可能導(dǎo)致電擊穿，過低則無法實(shí)現(xiàn)有效鍵合。

特點(diǎn)：

我司陽極鍵合設(shè)備本身的加熱能力和加高壓能力非常出色，體現(xiàn)了設(shè)備的高工藝水平和寬容度。氧化層厚至1μm依舊可以達(dá)到客戶的鍵合要求。氧化層厚度＞1μm，設(shè)備經(jīng)改造也可以鍵合成功。