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名稱：

高頻金屬探針

用途：

高頻電路測試，用于測量高頻電路中的電壓、電流和阻抗等參數(shù)。

實(shí)例：射頻集成電路（RFIC）、微波電路、毫米波電路的測試。

核心工藝：

1、光刻

難點(diǎn)：需要在無電鍍層區(qū)域進(jìn)行有效的屏蔽，以確保金屬僅在特定區(qū)域沉積。必須確保掩膜的完整性，及掩膜和基材之間良好的附著力。

2、選擇性電鍍

難點(diǎn)：確保在選定區(qū)域內(nèi)電鍍層的厚度均勻，這是控制電鍍質(zhì)量的關(guān)鍵。另外需要盡量避免電鍍層在圖形邊緣產(chǎn)生毛刺現(xiàn)象。