
產品介紹:
ROL7133光刻膠,負膠。
光源推薦:g/h/i-Line。
單層厚度:2.2-4um。
應用:
ROL-7133剝離光刻膠適合用堿性顯影液顯影,采用安全溶劑,有諸多優(yōu)點,是微電子、微光子和微機械制程中制做金屬電極或導線的專用光刻膠。
特性:
● 高分辨率:產線 3 微米,最高可達2微米
● 高對比度:體系交聯(lián)好,顯影快速、干凈;強附著力:無需HMDS,無側腐
● 高寬容度:對 ED、PEB 一定范圍內波動不敏感,產線穩(wěn)定性強;易于去膠溶于有機溶劑,去膠快速無殘留
● 金型規(guī)整:蒸金后金屬形貌接近矩形

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